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凈化工程

潔凈室簡介

  • 上架時間:2023-05-16
  • Product description: 深圳卓諾中科科技發展有限公司,工廠始建于1998年,本世紀初中國電子科技行業蓬勃發展,公司戰略調整為國內最早從事微電子工程裝備研發及生產。
1.簡介
        潔凈室的發展與現代工業、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生產)等對環境的要求,促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過,在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。
2.按受控粒子的性質劃分
        (1)工業潔凈室:受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。
        (2)生物潔凈室:受控粒子為生物粒子的潔凈室。
3.實現潔凈度要求的通風措施
        潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施 :
        (1) 對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用高效或亞高效過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行最后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。
        (2) 根據潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區應避免渦流區;盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區;氣流的流動有利于潔凈室內的微粒從回風口排走。
        (3) 有足夠的風量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩定的氣流流型。
        (4)不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。

4.潔凈室氣流組織考慮原則
        (1) 當產品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
        (2) 減少渦流,避免把工作區以外的污染物帶入工作區。
        (3) 為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。
        (4) 工作區的氣流應均勻,流速必須滿足工藝和衛生的要求;潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風口。
        (5) 工作設備布置時要留有一定的間隔,為送、回風口的布置和氣流的通暢創造條件:氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。
        (6) 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時,宜將其置于工作區氣流的上風側,以提高室內的空氣潔凈度。
        (7) 潔凈室內有通風柜時,宜置于工作區氣流的下風側,以減少對室內的污染。
5.潔凈室設計對生產工藝的要求
        (1) 潔凈環境是為生產工藝服務的,潔凈室設計必須滿足生產工藝的環境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時生產工藝對環境參數的要求應該實事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區的面積。
        (2)在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風側,把產生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區外,若必須放在潔凈區內時應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。
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